ASAP - as soon as possible

METAL LIFTOFFメタル・リフトオフ装置

ASAP独自の特殊ノズルを搭載した
高圧ジェットリフトオフ装置

DIP槽を持たないコンパクトな筐体
再付着の無い完全枚葉スピン処理
膨潤処理が必要なく短時間で処理可能
厚膜メタル・微細パターンにも対応可能
ドライエッチング後のレジスト剥離装置としても最適

2ASAPの「自動リフトオフ装置」は、剥離液(一般的にはNMP)をφ0.1㎜のダイヤモンドコーティングされたノズル先端の孔から高圧ジェットを吹き付け、薬液による化学反応と高圧ジェットによる物理的なエネルギーを融合させ、高品質で生産性の高い装置となっています。

  • 処理前
  • 処理中
  • 処理後

基板の表面状態やパターン形状等により、リフトオフ処理をする前にレジストの膨潤工程を必要とする場合は、事前に薬液を80℃ 近くまで加温し、以下のような2通りの方法で膨潤させます。

  • パドル方式
  • 掛け流し式

METAL/LIFTOFF01ハイスペックHIGH-SPEC MODELS

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処理量 600枚/日 以上に対応
全てのオプションを搭載した
ハイスペックモデル

3もしくは4ステージを搭載し、600wf/day以上の処理量に対応します。最大で4つの圧力設定を自動切替で使用することができジェットノズルのスキャン速度と動作範囲を10パターン、処理レシピを50種類設定可能です。DIP方式で問題となる、再付着、裏面の汚れ、リフトオフ残渣などすべての問題を解決いたします。

METAL/LIFTOFF02スタンダードSTANDARD MODELS

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処理量 300枚/日 に対応した
スタンダードタイプ

ユニット化されたクラスターシステムにより最適なスペックなものを提供可能。
2ステージを搭載し、300wf/day以上の処理量に対応します。ウエハサイズに合わせたコンパクトな量産用自動搬送装置です。クロスコンタミフリーのため、リフトオフ工程だけでなくレジスト剥離工程との共用も可能です。超音波洗浄などでは取りきれないバリ、残渣も除去いたします。

METAL/LIFTOFF03R&D(研究開発)R&D MODELS

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研究開発用に機能を特化した
コンパクトな装置
特殊な材料やプロセス用に
カスタム対応が可能

研究所向け特化したミニマムウエハ処理装置で、あらゆるカスタマイズに対応します。

ウエハ搬送ロボットの搭載はもちろん、マニュアルタイプの装置も製作いたします。

ビーカーワークでは何十分もかかってしまうようなサンプルを短時間で処理し、開発スピード向上に貢献いたします。

詳細データ(PDF)はこちら