ASAP - as soon as possible

MASK ALIGNERマスクアライナー

C to C のオート一括等倍露光
マスクアライメント装置です。

マスクと完全非接触でギャップ管理を行います。
もちろんソフト、ハードコンタクトにも対応!
低価格、コンパクト、オートアライメントを実現しました。

3つの特徴

  • 1完全非接触での
    平行出し&露光
    高精度レーザー変位計で
    平行度調整を行い、
    そのまま非接触露光を行うため
    マスクが傷つきません!
  • 2省スペース&
    簡単メンテナンス
    小型ロボットを使用し
    1m×1mと省スペースを実現。
    さらに、センターロボット
    レイアウトの採用により
    メンテナンスが簡単に行えます。
  • 3オートアラインメント信頼性のある
    FAST社製の画像処理で
    高精度オートアラインメント可能!

従来方式との比較

従来方式

ギャップボールにより
3箇所にダメージあり!

ASAP方式

完全非接触でギャップコントロール
 平行度管理が可能

非接触なのでマスク・ウエハに
傷がつかない!

露光性能

Conditions

  • Substrate:Si (HMDS treatment)
  • Film Thinckness:0.8um (OFPR-800LB)
  • Prebake:90℃/90s
  • Developer:NMD-3 (2.38%)
  • RInse:DI water/20s

(写真は一例です。条件によって結果は異なります)

主な仕様
  • ウエハサイズ2"〜6"
  • マスクサイズ3"〜7"
  • 露光方式プロキシミティ(ギャップ調整幅 0〜999um)
  • 照度均一性±5%(照射径165mm)
  • 露光量制御積算光量計もしくタイマ設定
  • 画像処理システム200万画素CCD + FAST社製画像処理エンジン
  • ウエハステージUVW3軸ステージ + Z軸 + チルト2軸構成
基本性能
  • 解像度20umGAP時:5um以下
  • アライアント精度±1um以内
  • スループットロボット搬送タイプ:120wph
    メカニカル搬送タイプ:150wph