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MASK ALIGNERマスクアライナー

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C to C のオート一括等倍露光
マスクアライメント装置です。

マスクと完全非接触でギャップ管理を行います。
もちろんソフト、ハードコンタクトにも対応！
低価格、コンパクト、オートアライメントを実現しました。

3つの特徴

  • 1完全非接触での
    平行出し＆露光    高精度レーザー変位計で
    平行度調整を行い、
    そのまま非接触露光を行うため
    マスクが傷つきません！
  • 2省スペース＆
    簡単メンテナンス    小型ロボットを使用し
    1m×1mと省スペースを実現。
    さらに、センターロボット
    レイアウトの採用により
    メンテナンスが簡単に行えます。
  • 3オートアラインメント信頼性のある
    FAST社製の画像処理で
    高精度オートアラインメント可能！

従来方式との比較

従来方式

ボールギャップ方式ボールギャップ方式

ギャップボールにより
3箇所にダメージあり！

ASAP方式

完全非接触でギャップコントロール
　平行度管理が可能

ASAP方式ASAP方式

非接触なのでマスク・ウエハに
傷がつかない！

　　　
オートマスクアライナー
  • 露光性能

    Conditions

    • Substrate:Si (HMDS treatment)
    • Film Thinckness:0.8um (OFPR-800LB)
    • Prebake:90℃/90s
    • Developer:NMD-3 (2.38%)
    • RInse:DI water/20s

    露光性能（写真は一例です。条件によって結果は異なります）

    主な仕様
    • ウエハサイズ2"〜6"
    • マスクサイズ3"〜7"
    • 露光方式プロキシミティ（ギャップ調整幅 0〜999um）
    • 照度均一性±5%（照射径165mm）
    • 露光量制御積算光量計もしくタイマ設定
    • 画像処理システム200万画素CCD + FAST社製画像処理エンジン
    • ウエハステージUVW3軸ステージ + Z軸 + チルト2軸構成
    基本性能
    • 解像度20umGAP時：5um以下
    • アライアント精度±1um以内
    • スループットロボット搬送タイプ：120wph
      メカニカル搬送タイプ：150wph
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