MASK ALIGNERマスクアライナー
C to C のオート一括等倍露光
マスクアライメント装置です。
マスクと完全非接触でギャップ管理を行います。
もちろんソフト、ハードコンタクトにも対応！
低価格、コンパクト、オートアライメントを実現しました。
3つの特徴
- 1完全非接触での
平行出し＆露光高精度レーザー変位計で
平行度調整を行い、
そのまま非接触露光を行うため
マスクが傷つきません！ - 2省スペース＆
簡単メンテナンス小型ロボットを使用し
1m×1mと省スペースを実現。
さらに、センターロボット
レイアウトの採用により
メンテナンスが簡単に行えます。 - 3オートアラインメント信頼性のある
FAST社製の画像処理で
高精度オートアラインメント可能！
従来方式との比較
- 従来方式
-
ギャップボールにより
3箇所にダメージあり！
- ASAP方式
-
完全非接触でギャップコントロール
平行度管理が可能
非接触なのでマスク・ウエハに
傷がつかない！
- 露光性能
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Conditions
- Substrate:Si (HMDS treatment)
- Film Thinckness:0.8um (OFPR-800LB)
- Prebake:90℃/90s
- Developer:NMD-3 (2.38%)
- RInse:DI water/20s
（写真は一例です。条件によって結果は異なります）
- 主な仕様
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- ウエハサイズMAX8"
- マスクサイズMAX9"
- 露光方式プロキシミティ（ギャップ調整幅 0〜999um）
- 照度均一性±5%
- 露光量制御積算光量計もしくはタイマ設定
- 画像処理システム200万画素CCD + FAST社製画像処理エンジン
- ウエハステージUVW3軸ステージ + Z軸 + チルト2軸構成
- 基本性能
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- 解像度20umGAP時：5um以下
- アライアント精度±1um以内
- スループットロボット搬送タイプ：120wph
