MASK ALIGNERマスクアライナー
var Eviry=Eviry||{};Eviry.Player||(Eviry.Player={});Eviry.Player.embedkey="EK1jZ2aNve3Yy7o5P1P_hQDNzBBFjbFBzJenMBtS_6BzTYk6f44Zavtohb8pLGIDOVXlbb7tt2pvfBQzhuSfwtmufA0YqytuMSCSvX3ENNvFmM.";C to C のオート一括等倍露光
マスクアライメント装置です。
マスクと完全非接触でギャップ管理を行います。
もちろんソフト、ハードコンタクトにも対応!
低価格、コンパクト、オートアライメントを実現しました。
3つの特徴
- 1完全非接触での
平行出し&露光高精度レーザー変位計で
平行度調整を行い、
そのまま非接触露光を行うため
マスクが傷つきません! - 2省スペース&
簡単メンテナンス小型ロボットを使用し
1m×1mと省スペースを実現。
さらに、センターロボット
レイアウトの採用により
メンテナンスが簡単に行えます。 - 3オートアラインメント信頼性のある
FAST社製の画像処理で
高精度オートアラインメント可能!
従来方式との比較
- 従来方式
-
ギャップボールにより
3箇所にダメージあり!
- ASAP方式
-
完全非接触でギャップコントロール
平行度管理が可能非接触なのでマスク・ウエハに
傷がつかない!
- 露光性能
-
Conditions
- Substrate:Si (HMDS treatment)
- Film Thinckness:0.8um (OFPR-800LB)
- Prebake:90℃/90s
- Developer:NMD-3 (2.38%)
- RInse:DI water/20s
(写真は一例です。条件によって結果は異なります)
- 主な仕様
-
- ウエハサイズ2"〜6"
- マスクサイズ3"〜7"
- 露光方式プロキシミティ(ギャップ調整幅 0〜999um)
- 照度均一性±5%(照射径165mm)
- 露光量制御積算光量計もしくタイマ設定
- 画像処理システム200万画素CCD + FAST社製画像処理エンジン
- ウエハステージUVW3軸ステージ + Z軸 + チルト2軸構成
- 基本性能
-
- 解像度20umGAP時:5um以下
- アライアント精度±1um以内
- スループットロボット搬送タイプ:120wph
メカニカル搬送タイプ:150wph