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产品介绍Product Information

标准

匀胶机

  • 标准型能够对应500wf/day的处理量
  • 被单元化了的记忆媒体系统,可以提供最适合的性能产品
是搭载了双手搬运机器手臂的批量生产用自动搬运装置。能设置最大4个生产流程单元,并且多层梯型的烘干组件最大能够扩充到5段。能对应500wf/day以上的处理量,并且能够使用从低粘度到高粘度的各种各样药剂的流程搭配。

显影机

  • 标准型能够对应500wf/day的处理量
  • 被单元化了的记忆媒体系统,可以提供最适合的性能产品
是搭载了双手搬运机器手臂的批量生产用自动搬运设备。能设置最大4个生产流程单元,并且多层梯型的烘干组件最大能够扩充到5段。能对应500wf/day以上的处理量,并且能够使用从低粘度到高粘度的各种各样药剂的流程搭配。

撕金机

  • 对应300wf/day处理量的标准规格型
  • 被单元化了的记忆媒体系统,可以提供最适合的性能产品
可装载两个平台,并对应300wf/day处理量。符合晶圆的小型批量生产自动搬运装置。因为交叉无污染, 不仅剥离过程,抗蚀物剥离过程也可以共同使用。用超声波冲洗不掉的金属边缘·残渣也完全可以去掉。