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产品介绍Product Information

晶圆清洗设备

  • 高压喷气·超音波·各种喷雾式的枚叶冲洗装置。

烘烤全面露光装置

  • 图像重新分析(剥离)保护膜的图像反转用的烘烤/全面露光装置
  • 显影机也可内置

面罩清洗设备

  • 用有机溶剂的高压喷雾器进行光罩旋转洗涤
  • 边缘钳方式的两面同时洗净设备