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产品介绍Product Information

剥离机

  • 高压自动撕金机搭载了ASAP独自的特殊喷嘴
  • 不持有DIP槽的小型筐体
  • 无再附着的完全枚叶旋转处理
  • 不需要膨胀并且能在短时间内处理
  • 厚膜金属·微细模式也可对应
  • 作为干法刻蚀后的抗蚀物剥离设备也很适合
  • 从去除金属到光刻胶的清洗和烘乾能在同一台设备上完成
  如果下面动画不能显示,请看我们的优酷网页。http://i.youku.com/ASAP1999

高规格

  • 对应600wf/day以上的处理量
  • 所有项目都搭载高规格模型
可装载三或者四个平台,并且可对应600wf/day以上的处理量。并且能在最大四个压力设定下自動更换使用, 喷气管嘴的扫描速度和动作范围有十个模式,可以设定处理方法五十种。DIP方式解决不了的再附着·内面肮脏·剥离残渣等所有问题都可以解决。

标准

  • 对应300wf/day处理量的标准规格型
  • 被单元化了的记忆媒体系统,可以提供最适合的性能产品
可装载两个平台,并对应300wf/day处理量。符合晶圆的小型批量生产自动搬运装置。因为交叉无污染, 不仅剥离过程,抗蚀物剥离过程也可以共同使用。用超声波冲洗不掉的金属边缘·残渣也完全可以去掉。

R&D

  • 研究开发用特殊功能的小型的装置
  • 可标准对应特殊的材料和流程
针对研究所的特殊化最小晶圆处理设备,能对应各种各样的改装。不仅可以搭载晶圆搬运机器手臂,而且制作手动型的装置。例如烧杯作业,要花几十分钟制作成的样品,可在短时间在处理完,有助于改善开发的速度。