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产品介绍Product Information

匀胶机

  • CtoC全自动涂保护膜、聚酰亚胺、不纯物,加热处理
  • 符合基板尺寸的小型框体
  • 多数尺寸的基板不用更换既可以处理,
  • 低粘度到高粘度均可对应、并有着丰富的实践经验
  • 能够对应200μm以上的滑撬搬送系统
  • 能够对应各种各样可消减COO的特殊定做加工。
 如果下面动画不能显示,请看我们的优酷网页。http://i.youku.com/ASAP1999  

高规格

  • 可以对应1000wf/day以上的处理量
  • 所有的项目都搭载高规格模型
2台搭载双手的搬运机器手臂。与从前的指数流程装置不一样的2台机器手臂,考虑到用户的生产流程流通,因此对生产流程单元机器手臂的配置进行改装,所以实现了省空间、高效率搬运的效果。能设置最大7个生产流程单元, 多层梯型的烘干组件最大能够扩充到5段。另外, 为了最大限度发挥处理能力,使用了与生产流程时间相协调的软件来对应1000wf/day以上的处理量。

标准

  • 标准型能够对应500wf/day的处理量
  • 被单元化了的记忆媒体系统,可以提供最适合的性能产品
是搭载了双手搬运机器手臂的批量生产用自动搬运装置。能设置最大4个生产流程单元,并且多层梯型的烘干组件最大能够扩充到5段。能对应500wf/day以上的处理量,并且能够使用从低粘度到高粘度的各种各样药剂的流程搭配。

R&D

  • 功能特殊化的小型研究开发用设备
  • 能够对应特殊材料或生产流程用的改装
针对研究所的特殊化最小晶圆处理设备,能对应各种各样的改装。不仅可以搭载晶圆搬运机器手臂,而且用手动也可以处理碎片。10000cp以上的高粘度药剂或者超过400度以上的高温烘烤等,在研究课题中,我们提案了相匹配的设备。