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製品紹介Product Information

中規模生産向け

コーター

  • 500wf/dayの処理量に対応したスタンダードタイプ
  • ユニット化されたクラスターシステムにより最適なスペックなものを提供可能

ダブルハンドウエハ搬送ロボットを搭載した量産用自動 搬送装置です。プロセスユニットは最大4ステージまで設置可能で、多段積層タイプのベーキングユニットは最大5段まで拡張可能です。500wf/day以上の処理量に対応可能で、高粘度〜低粘度まであらゆる薬液を使用したプロセスにマッチします。

デベロッパー

  • 500wf/dayの処理量に対応したスタンダードタイプ
  • ユニット化されたクラスターシステムにより最適なスペックなものを提供可能

ダブルハンドウエハ搬送ロボットを搭載した量産用自動搬送装置です。プロセスユニットは最大4ステージまで設置可能で、多段積層タイプのベーキングユニットは最大5段まで拡張可能です。500wf/day以上の処理量に対応可能で、高粘度〜低粘度まであらゆる薬液を使用したプロセスにマッチします。

リフトオフ

  • 300wf/dayの処理量に対応したスタンダードタイプ
  • ユニット化されたクラスターシステムにより最適なスペックなものを提供可能

2ステージを搭載し、300wf/day以上の処理量に対応します。ウエハサイズに合わせたコンパクトな量産用自動搬送装置です。クロスコンタミフリーのため、リフトオフ工程だけでなくレジスト剥離工程との共用も可能です。超音波洗浄などでは取りきれないバリ、残渣も除去いたします。