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製品紹介Product Information

研究開発向け

コーター

  • 研究開発用に機能を特化したコンパクトな装置
  • 特殊な材料やプロセス用にカスタム対応が可能

研究所向け特化したミニマムウエハ処理装置で、あらゆるカスタマイズに対応します。ウエハ搬送ロボットの搭載はもちろん、マニュアルでの小片処理も可能です。10000cp以上の高粘度薬液や400℃以上の高温キュアなど、研究テーマにマッチした装置をご提案します。

デベロッパー

  • 研究開発用に機能を特化したコンパクトな装置
  • 特殊な材料やプロセス用にカスタム対応が可能

研究所向け特化したミニマムウエハ処理装置で、あらゆるカスタマイズに対応します。ウエハ搬送ロボットの搭載はもちろん、マニュアルでの小片処理も可能です。10000cp以上の高粘度薬液や400℃以上の高温キュアなど、研究テーマにマッチした装置をご提案します。

リフトオフ

  • 研究開発用に機能を特化したコンパクトな装置
  • 特殊な材料やプロセス用にカスタム対応が可能

研究所向け特化したミニマムウエハ処理装置で、あらゆるカスタマイズに対応します。ウエハ搬送ロボットの搭載はもちろん、マニュアルタイプの装置も製作いたします。ビーカーワークでは何十分もかかってしまうようなサンプルを短時間で処理し、開発スピード向上に貢献いたします。