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製品紹介Product Information

ウエハ洗浄装置

  • 高圧ジェット、メガソニック、各種スプレーによる枚葉洗浄装置。

ベーキング全面露光装置

  • イメージリパース(リフトオフ)レジストの画像反転用ベーキング/全面露光装置。
  • デベロッパへの組み込みも可能です。

マスク洗浄装置

  • 有機溶剤の高圧スプレーによりフォトマスクをスピン洗浄します。
  • エッジクランプ方式による両面同時洗浄装置。