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製品紹介Product Information

リフトオフ

  • ASAP独自の特殊ノズルを搭載した高圧ジェットリフトオフ装置
  • DIP槽を持たないコンパクトな筐体
  • 再付着の無い完全枚葉スピン処理
  • 膨潤処理が必要なく短時間で処理可能
  • 厚膜メタル・微細パターンにも対応可能
  • ドライエッチング後のレジスト剥離装置としても最適

ハイスペック

  • 600wf/day以上の処理量に対応
  • 全てのオプションを搭載したハイスペックモデル

3もしくは4ステージを搭載し、600wf/day以上の処理量に対応します。最大で4つの圧力設定を自動切替で使用することができジェットノズルのスキャン速度と動作範囲を10パターン、処理レシピを50種類設定可能です。DIP方式で問題となる、再付着、裏面の汚れ、リフトオフ残渣などすべての問題を解決いたします

スタンダード

  • 300wf/dayの処理量に対応したスタンダードタイプ
  • ユニット化されたクラスターシステムにより最適なスペックなものを提供可能

2ステージを搭載し、300wf/day以上の処理量に対応します。ウエハサイズに合わせたコンパクトな量産用自動搬送装置です。クロスコンタミフリーのため、リフトオフ工程だけでなくレジスト剥離工程との共用も可能です。超音波洗浄などでは取りきれないバリ、残渣も除去いたします。

R&D

  • 研究開発用に機能を特化したコンパクトな装置
  • 特殊な材料やプロセス用にカスタム対応が可能

研究所向け特化したミニマムウエハ処理装置で、あらゆるカスタマイズに対応します。ウエハ搬送ロボットの搭載はもちろん、マニュアルタイプの装置も製作いたします。ビーカーワークでは何十分もかかってしまうようなサンプルを短時間で処理し、開発スピード向上に貢献いたします。