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製品紹介Product Information

大規模生産向け

コーター

  • 1000wf/day以上の処理量に対応
  • 全てのオプションを搭載したハイスペックモデル

2台のダブルハンドウエハ搬送ロボットを搭載しています。インデックス/プロセスといった従来の2ロボット装置とは異なり、ユーザーのプロセスフローを考慮し、プロセスユニットとロボットの配置をカスタマイズすることで省スペース化、高効率搬送を実現します。プロセスユニットは最大7ス テージまで設置可能で、多段積層タイプのベーキングユニットは最大5段まで拡張可能です。また、処理能力を最大限に引き出すため、プロセスタイムに合わせたソフトウエアのチューニングを行い1000wf/day以上の処理量に対応します。

デベロッパー

  • 1000wf/day以上の処理量に対応
  • 全てのオプションを搭載したハイスペックモデル

2台のダブルハンドウエハ搬送ロボットを搭載しています。インデックス/プロセスといった従来の2ロボット装置とは異なり、ユーザーのプロセスフローを考慮し、プロセスユニットとロボットの配置をカスタマイズすることで省スペース化、高効率搬送を実現します。プロセスユニットは最大7ステージまで設置可能で、多段積層タイプのベーキングユニットは最大5段まで拡張可能です。また、処理能力を最大限に引き出すため、プロセスタイムに合わせたソフトウエアのチューニングを行い1000wf/day以上の処理量に対応します。

リフトオフ

  • 600wf/day以上の処理量に対応
  • 全てのオプションを搭載したハイスペックモデル

3もしくは4ステージを搭載し、600wf/day以上の処理量に対応します。最大で4つの圧力設定を自動切替で使用することができジェットノズルのスキャン速度と動作範囲を10パターン、処理レシピを50種類設定可能です。DIP方式で問題となる、再付着、裏面の汚れ、リフトオフ残渣などすべての問題を解決いたします