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製品紹介Product Information

コーター

  • レジスト、ポリイミド、ドーパントをC to Cのフルオートで塗布/ベーキング
  • ウエハサイズに合わせたコンパクトな筐体
  • 複数サイズのウエハを段取り替えなく処理可能
  • 低粘度〜高粘度まで豊富な対応実績
  • 200μm以上のソリに対応した搬送システム
  • 様々なオプションメニューによるCOO削減・カスタム対応可能

ハイスペック

  • 1000wf/day以上の処理量に対応
  • 全てのオプションを搭載したハイスペックモデル

2台のダブルハンドウエハ搬送ロボットを搭載しています。インデックス/プロセスといった従来の2ロボット装置とは異なり、ユーザーのプロセスフローを考慮し、プロセスユニットとロボットの配置をカスタマイズすることで省スペース化、高効率搬送を実現します。プロセスユニットは最大7ステージまで設置可能で、多段積層タイプのベーキングユニットは最大5段まで拡張可能です。また、処理能力を最大限に引き出すため、プロセスタイムに合わせたソフトウエアのチューニングを行い1000wf/day以上の処理量に対応します。

スタンダード

  • 500wf/dayの処理量に対応したスタンダードタイプ
  • ユニット化されたクラスターシステムにより最適なスペックなものを提供可能

ダブルハンドウエハ搬送ロボットを搭載した量産用自動 搬送装置です。プロセスユニットは最大4ステージまで設置可能で、多段積層タイプのベーキングユニットは最大5段まで拡張可能です。500wf/day以上の処理量に対応可能で、高粘度〜低粘度まであらゆる薬液を使用したプロセスにマッチします。

R&D

  • 研究開発用に機能を特化したコンパクトな装置
  • 特殊な材料やプロセス用にカスタム対応が可能

研究所向け特化したミニマムウエハ処理装置で、あらゆるカスタマイズに対応します。ウエハ搬送ロボットの搭載はもちろん、マニュアルでの小片処理も可能です。10000cp以上の高粘度薬液や400℃以上の高温キュアなど、研究テーマにマッチした装置をご提案します。